利用压力传感器提高工业设备性能的2种方法

来源：上海自动化仪表有限公司作者：发表时间：2019-09-24 09:22:50【小中大】

压力传感器用于将流体压力转换为可监视和控制系统的电信号，并且现如今压力传感器已成为保护和优化工业设备的宝贵工具。下面为您介绍利用压力传感器提高工业设备性能的2种方法。

1.创新的施工方法

精密的设计和弹性是高度创新和精心控制的施工方法的结果，例如化学气相沉积（CVD）和溅射薄膜的先进应变计技术。CVD是制造应变传感器的特别有效的方法，其利用压力隔膜来检测运动，并将该信息转换成电信号。使用CVD生产的器件通常是紧凑的，并且可以提供高精度和优异的滞后特性。这些传感器大批量制造在晶圆上，并使用多晶硅沉积在不锈钢基板上，采用化学铣削的应变计图案。

与CVD工艺一样，溅射薄膜也是最近压力传感器成功的必要条件。在溅射过程中，所需材料的固体靶被激发的粒子轰击，导致原子从靶释放。溅射薄膜工艺沉积使用这些释放的原子形成薄膜。在压力传感器的制造中使用溅射薄膜工艺提供了灵敏且坚固的隔膜，适合直接接触几乎所有的油，液体和气体。

压力传感器化学制造方面的这些创新已经与电子学领域同样重要的进步合作，大大提高了传感器的能力。例如，近年来为电子封装提供压力传感器使得每个传感器都能够被调谐，以满足每个客户的确切要求。

2.先进的ASIC技术

这些电子封装采用先进的ASIC（专用集成电路）技术，可以增强功能和性能。它们也可以定制，提供有效和方便的选择，在不需要复杂和昂贵的控制技术的情况下降低成本。引入ASIC的经济优势非常显着。结合批量制造技术的改进，ASIC技术的引入在许多情况下将压力传感器的单位成本降低了10倍。因此，很多制造商已经能够开始销售压力传感器了，这些压力传感器提供的性能水平以前与以300英镑售价的单位相关，而压力传感器只需30英镑。

将溅射薄膜和CVD技术与ASIC电子封装相结合，可以为越来越多选择研究压力传感技术优势的工程师提供精确性和可靠性的强大组合。目前可用的各种压力传感器产品将允许工程师在更具挑战性的环境中应用压力传感器，以及组件的模块化特性，这增加了压力传感器容纳中可用选项的多样性。

压力传感器将继续改进和发展，提供更高水平的数据采集和系统控制，既可以应用于目前使用它们的许多行业，也可以应用于将来采用它们的行业。

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